线光谱共焦传感器
埃科线光谱共焦传感器SG系列,基于同轴式光谱共聚焦技术开发而成,提供高达37KHz扫描速度,最大测量视野20.4mm,X方向分辨率可达1.875um,Z方向重复精度可达50nm,具有高精度、高速度、多功能、无接触在线检测等优势。

产品特征

  • 高速高分辨率检测

    轮廓数据数量最高4096个,点间隔小,X轴轮廓数据间隔可达1.875µm,精确捕捉微小细节,轻松实现高分辨率3D在线检测;高达37kHz的扫描速度(全量程扫描速率最高8.2kHz),可应用于复杂且大量的高速扫描场景。

  • 大量程大视野

    最大测量视野20.4mm,是市面同类产品的2倍;Z轴测量范围可达7mm,能够覆盖较大高度变化,减少扫描次数,提升检测效率。

  • 出色兼容角度

    提供出色的兼容角度(最大镜面兼容角度±50°),能够应对深孔、缝隙、弯曲等复杂形貌的表面检测。


  • 强材质适应性

    传感器采用同轴光学设计,实现非接触式测量,检测敏感元件不会造成应力损伤,且具有强材质适应性,不受材质、形状和反光的影响,可检测镜面、曲面、透明材料等。

应用案例

埃科线光谱共焦传感器SG系列不受材质、形状和反光的影响,对于深孔、缝隙、弯曲、透明等多种形貌或材质的表面测量有着高度的适应性,全量程都可保持高精度及高横向分辨率,广泛适用于半导体、消费电子、PCB、动力电池等多个精密制造领域。

产品规格

型号 SG4050SG4025SG1007SG1110
轮廓线点数 4096409612801280
扫描速率 4.4~18kHz4.4~18kHz8.2~37kHz7.3~37kHz
X轴轮廓数据间隔 5μm2.5μm1.875μm9.3μm
Z轴线性度(单点) ±4μm±1μm±0.25μm±4μm
Z轴重复精度(镜面) 0.5μm0.25μm0.05μm1μm
安装净距离 45.9mm24mm6.7mm39.3mm
Z轴测量范围 5mm2.5mm0.7mm7mm
视野 20.4mm10.2mm2.4mm11.9mm
最大兼容角度 ±15°±30°±50°±12°
尺寸 183.5mm x 455.7mm x 85.5mm183.5mm x 475.1mm x 85.5mm365mm x 438.6mm x 99mm365mm x 342.1mm x 99mm
重量 8.4KG9.3KG13KG12KG
数据接口 GigE Vision(2.5G及以上)
输入输出 1路差分编码器输入;1路可编程输入;1路可编程输出
整机功率 80W±5%80W±5%65W±5%65W±5%
电源 DC 24V±10%
接口类型 信号接口:M12 Xcode 8芯 GigE Vision;电源接口:M12 Acode 17芯
防护等级(EN 60529) IP55
工作温度 15℃~35℃
环境湿度 20%~85% RH(无冷凝)

产品尺寸图

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