智能对焦系统

智能对焦系统（IFU-S6）

埃科智能对焦系统基于同轴激光传感的高速自动对焦技术开发而成，通过采集对应样品表面反射的激光信号，主动感知物镜到对焦样品表面的距离，并根据物镜的离焦状态实时确定并输出运动机构的控制信号，控制物镜运动到对焦位置，保证成像系统始终采集到高对比度图片。

高速实时跟焦

智能对焦系统支持6.3kHz高速离焦量采样，能够迅速检测目标表面的离焦距离和离焦方向，自动快速调整焦距，确保被测表面能够实时清晰成像。在常规的10倍物镜，离焦100um的情况下，再对焦时间小于100ms。
亚微米级追焦精度

智能对焦系统的对焦精度达到亚微米级，静态对焦精度优于1/4景深，动态跟踪对焦精度优于1/2景深。
场景适应性佳

智能对焦系统支持线式分段激光采样，能够兼容更复杂的目标表面纹理，满足严苛的检测需求；同时提供660/785/850nm三种激光波长，适应不同的成像波段需求。
广域对焦范围

在常规物镜倍率下，智能对焦系统拥有足够大的对焦范围，可弥补目标物上料时的高度定位偏差，适应更复杂的对焦场景。
组件配置灵活

智能对焦系统支持多物镜切换应用，可应对需要多个复检倍率的瑕疵检测场景；还能够兼容多种相机靶面、明/暗场光源及Z轴执行器，各部分组件可根据实际使用场景自由选配，游刃有余地应对不同场景视觉应用。

埃科智能对焦系统目前已在显示面板、半导体、PCB、生物医疗等领域的亚微米级高精度检测场景中广泛应用，并获得高度认可。