线光谱共焦传感器
埃科线光谱共焦传感器SG系列,基于同轴式光谱共聚焦技术开发而成,提供高达40KHz扫描速度,最大测量视野10.2mm,X方向分辨率可达1.875um,Z方向重复精度可达50nm,具有高精度、高速度、多功能、无接触在线检测等优势。

产品特征

  • 无损探触,安全保障

    非接触式测量,敏感元件无应力损伤


  • 广域覆盖,超大视野

    最大测量视野10.2mm,Z方向测量范围可达2.5mm


  • 配置灵活,高效测量

    同轴光学设计,最大镜面兼容角度±50°,易于安装和系统集成


  • 高分辨率,全域感知

    轮廓线点数最高4096个,零阴影扫描


  • 极速响应,产能跃升

    扫描速度最高可达40kHz


  • 超高精度,亚微米级解析

    Z方向重复精度可达50nm,Z方向线性度可达±0.25um

应用案例

埃科线光谱共焦传感器SG系列不受材质、形状和反光的影响,对于深孔、缝隙、弯曲、透明等多种形貌或材质的表面测量有着高度的适应性,全量程都可保持高精度及高横向分辨率,广泛适用于半导体、消费电子、PCB、动力电池等多个精密制造领域。

产品规格

型号 SG4025SG1007SG1110
轮廓线点数 409612801280
扫描速率 4.8~18kHz8.9~40kHz7.3~40kHz
X方向分辨率(轮廓线数据间隔) 2.5μm1.875μm9.3μm
Z方向线性度 ±1μm±0.25μm±4μm
Z方向重复性 0.25μm0.05μm1μm
安装净距离 24mm6.7mm39.3mm
测量范围 2.5mm0.7mm11mm
视野 10.2mm2.4mm11.9mm
最大兼容角度 ±30°±50°±12°
尺寸 475.1mm x 183mm x 85mm438.6mm x 365mm x 99mm342.1mm x 365mm x 99mm
重量 9.3kg13KG12KG
数据接口 GigE Vision(2.5G及以上)
输入输出 1路差分编码器输入;1路可编程输入;1路可编程输出
整机功率 80W±5%65W±5%65W±5%
电源 DC 24V±10%
接口类型 信号接口:M12 Xcode 8芯;电源接口:M12 Acode 17芯
防护等级(EN 60529) IP55
工作温度 15℃~35℃
环境湿度 20%~85% RH(无冷凝)

产品尺寸图

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