产品特征
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无损探触,安全保障
非接触式测量,敏感元件无应力损伤
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广域覆盖,超大视野
最大测量视野10.2mm,Z方向测量范围可达2.5mm
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配置灵活,高效测量
同轴光学设计,最大镜面兼容角度±50°,易于安装和系统集成
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高分辨率,全域感知
轮廓线点数最高4096个,零阴影扫描
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超高精度,亚微米级解析
Z方向重复精度可达50nm,Z方向线性度可达±0.25um
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极速响应,产能跃升
扫描速度最高可达37kHz
应用案例
埃科线光谱共焦传感器SG系列不受材质、形状和反光的影响,对于深孔、缝隙、弯曲、透明等多种形貌或材质的表面测量有着高度的适应性,全量程都可保持高精度及高横向分辨率,广泛适用于半导体、消费电子、PCB、动力电池等多个精密制造领域。
产品规格
| 型号 | SG4025 | SG1007 | SG1110 | ||
| 轮廓线点数 | 4096 | 1280 | 1280 | ||
| 扫描速率 | 4.4~18kHz | 8.2~37kHz | 7.3~37kHz | ||
| X轴轮廓数据间隔 | 2.5μm | 1.875μm | 9.3μm | ||
| Z轴线性度(单点) | ±1μm | ±0.25μm | ±4μm | ||
| Z轴重复精度(镜面) | 0.25μm | 0.05μm | 1μm | ||
| 安装净距离 | 24mm | 6.7mm | 39.3mm | ||
| Z轴测量范围 | 2.5mm | 0.7mm | 7mm | ||
| 视野 | 10.2mm | 2.4mm | 11.9mm | ||
| 最大兼容角度 | ±30° | ±50° | ±12° | ||
| 尺寸 | 183.5mm x 475.1mm x 85.5mm | 365mm x 438.6mm x 99mm | 365mm x 342.1mm x 99mm | ||
| 重量 | 9.3kg | 13KG | 12KG | ||
| 数据接口 | GigE Vision(2.5G及以上) | ||||
| 输入输出 | 1路差分编码器输入;1路可编程输入;1路可编程输出 | ||||
| 整机功率 | 80W±5% | 65W±5% | 65W±5% | ||
| 电源 | DC 24V±10% | ||||
| 接口类型 | 信号接口:M12 Xcode 8芯;电源接口:M12 Acode 17芯 | ||||
| 防护等级(EN 60529) | IP55 | ||||
| 工作温度 | 15℃~35℃ | ||||
| 环境湿度 | 20%~85% RH(无冷凝) | ||||
产品尺寸图






