智能对焦系统
埃科智能对焦系统基于同轴激光传感的高速自动对焦技术开发而成,通过采集对应样品表面反射的激光信号,主动感知物镜到对焦样品表面的距离,并根据物镜的离焦状态实时确定并输出运动机构的控制信号,控制物镜运动到对焦位置,保证成像系统始终采集到高对比度图片。

产品特征

  • 高速实时跟焦

    智能对焦系统支持6.3kHz高速离焦量采样,能够迅速检测目标表面的离焦距离和离焦方向,自动快速调整焦距,确保被测表面能够实时清晰成像。在常规的10倍物镜,离焦100um的情况下,再对焦时间小于100ms。

  • 亚微米级追焦精度

    智能对焦系统的对焦精度达到亚微米级静态对焦精度优于1/4景深动态跟踪对焦精度优于1/2景深

  • 场景适应性佳

    智能对焦系统支持线式分段激光采样,能够兼容更复杂的目标表面纹理,满足严苛的检测需求;同时提供660/785/850nm三种激光波长,适应不同的成像波段需求。

  • 广域对焦范围

    在常规物镜倍率下,智能对焦系统拥有足够大的对焦范围,可弥补目标物上料时的高度定位偏差适应更复杂的对焦场景

  • 组件配置灵活

    智能对焦系统支持多物镜切换应用,可应对需要多个复检倍率的瑕疵检测场景;还能够兼容多种相机靶面、明/暗场光源及Z轴执行器,各部分组件可根据实际使用场景自由选配,游刃有余地应对不同场景视觉应用。


应用案例

埃科智能对焦系统目前已在显示面板、半导体、PCB、生物医疗等领域的亚微米级高精度检测场景中广泛应用,并获得高度认可。

产品规格

型号 IFU-S6
物镜倍率 2x5x10x20x50x
NA 0.0550.140.280.420.55
景深 91um14um3.6um1.6um0.9um
采样率 160Hz-6.3kHz
线性对焦范围(μm) ±3000±1000±700±300±100
供电 12-24V DC
功耗 3W
动态跟踪对焦精度 优于1/2物镜景深
单次对焦时间 小于100ms (10X物镜 离焦100um)
可对焦反射率 1-99%
可对焦范围(μm) ±20000±13000±5000±2500±800
图像传感器 Area Scan CMOS
对焦重复性 优于1/4物镜景深
尺寸 45*50*128mm
工作环境温度 10-35℃
模块质量 385g
激光器 660nm/785nm/850nm半导体激光器,出光口的出光功率0.4-4mw
激光器控制 RS485
激光形状 线式
运动控制信号输出 脉冲+方向 or 模拟信号(0-10V)
通信方式 RS485
静态对焦精度 优于1/4物镜景深

产品尺寸图

图片7.png

资料下载