产品特征
-
高速实时跟焦
智能对焦系统支持6.3kHz高速离焦量采样,能够迅速检测目标表面的离焦距离和离焦方向,自动快速调整焦距,确保被测表面能够实时清晰成像。在常规的10倍物镜,离焦100um的情况下,再对焦时间小于100ms。
-
亚微米级追焦精度
智能对焦系统的对焦精度达到亚微米级,静态对焦精度优于1/4景深,动态跟踪对焦精度优于1/2景深。
-
场景适应性佳
智能对焦系统支持线式分段激光采样,能够兼容更复杂的目标表面纹理,满足严苛的检测需求;同时提供660/785/850nm三种激光波长,适应不同的成像波段需求。
-
广域对焦范围
在常规物镜倍率下,智能对焦系统拥有足够大的对焦范围,可弥补目标物上料时的高度定位偏差,适应更复杂的对焦场景。
-
组件配置灵活
智能对焦系统支持多物镜切换应用,可应对需要多个复检倍率的瑕疵检测场景;还能够兼容多种相机靶面、明/暗场光源及Z轴执行器,各部分组件可根据实际使用场景自由选配,游刃有余地应对不同场景视觉应用。
应用案例
埃科智能对焦系统目前已在显示面板、半导体、PCB、生物医疗等领域的亚微米级高精度检测场景中广泛应用,并获得高度认可。
产品规格
型号 | IFU-S6 | ||||
物镜倍率 | 2x | 5x | 10x | 20x | 50x |
NA | 0.055 | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 |
景深 | 91um | 14um | 3.6um | 1.6um | 0.9um |
采样率 | 160Hz-6.3kHz | ||||
线性对焦范围(μm) | ±3000 | ±1000 | ±700 | ±300 | ±100 |
供电 | 12-24V DC | ||||
功耗 | 3W | ||||
动态跟踪对焦精度 | 优于1/2物镜景深 | ||||
单次对焦时间 | 小于100ms (10X物镜 离焦100um) | ||||
可对焦反射率 | 1-99% | ||||
可对焦范围(μm) | ±20000 | ±13000 | ±5000 | ±2500 | ±800 |
图像传感器 | Area Scan CMOS | ||||
对焦重复性 | 优于1/4物镜景深 | ||||
尺寸 | 45*50*128mm | ||||
工作环境温度 | 10-35℃ | ||||
模块质量 | 385g | ||||
激光器 | 660nm/785nm/850nm半导体激光器,出光口的出光功率0.4-4mw | ||||
激光器控制 | RS485 | ||||
激光形状 | 线式 | ||||
运动控制信号输出 | 脉冲+方向 or 模拟信号(0-10V) | ||||
通信方式 | RS485 | ||||
静态对焦精度 | 优于1/4物镜景深 |